|
MIRA 3 XM - сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения с максимально большой камерой.
Модели серии Mira оснащены электронной пушкой с полевой эмиссией (катод Шоттки).
Особенности моделей c XM камерой
Варианты исполнения:
MIRA 3 XMH
Модель микроскопа с большой камерой и моторизованным столиком идеально подходит для исследования проводящих образцов в высоком вакууме и получения изображений исключительно высокого качества.
MIRA 3 XMU
Модель для работы при переменном вакууме в камере. Сохраняя преимущества работы
в режиме высокого вакуума, позволяет исследовать непроводящие образцы без предварительного напыления.
Камера XM |
|
|
Столик образцов |
|
|
300 мм (ширина) х 330 мм (глубина) |
|
Тип |
Моторизованный, компуцентрический |
| |
280 мм (ширина) х 310 мм (высота) |
|
Перемещения |
X = 130 мм, Y = 130 мм, Z = 100 мм
Вращение 360° непрерывно
Наклон от -20° до +80° |
|
9+ |
|
|
пневматическая или активная
электромагнитная (опционально) |
|
Высота образца |
Не более 143 мм |
| MIRA 3 |
XMH |
XMH-CS |
XMU |
XMU-CS |
Разрешение
высокого вакуума (SE)
низкого вакуума (SE)
переменного вакуума (BSE) |
1,0 нм при 30 кВ
2,0 нм при 3 кВ
-
-
2,0 нм при 30 кВ
|
1,2 нм при 30 кВ
2,5 нм при 3 кВ
-
-
2,0 нм при 30 кВ
|
1,0 нм при 30 кВ
2,0 нм при 3 кВ
1,5 нм при 30 кВ (LVSTD)
3,0 нм при 3 кВ (LVSTD)
2,0 нм при 30 кВ
|
1,2 нм при 30 кВ
2,5 нм при 3 кВ
1,5 нм при 30 кВ (LVSTD)
3,0 нм при 3 кВ (LVSTD)
2,0 нм при 30 кВ |
Рабочий вакуум
Камера - высокий вакуум
Камера - низкий вакуум
Вакуум пушки |
< 1 x 10-2 Па
-
< 3 x 10-7 Па |
< 1 x 10-2 Па
-
< 3 x 10-7 Па |
< 1 x 10-2 Па
7 - 150 Па
< 3 x 10-7 Па |
< 1 x 10-2 Па
7 - 150 Па
< 3 x 10-7 Па |
Рабочие режимы
Режим высокого вакуума
Режим низкого вакуума |
Разрешение, Глубина, Поле, Широкое Поле, Каналирование
- |
Разрешение, Глубина, Поле, Широкое Поле, Каналирование
Разрешение, Глубина |
| Увеличение |
Непрерывное от 3х до 1000 000х |
| Ускоряющее напряжение |
От 200 В до 30 кВ |
| Источник электронов |
Катод Шоттки высокой яркости |
| Ток пучка электронов |
От 2 пА до 100 нА |
| Скорость сканирования |
От 20 нс до 10 мс на пиксель, регулируется ступенчато или непрерывно |
| Окно фокусировки |
Форма, размер и положение плавно регулируются |
| Особенности сканирования |
Динамический фокус, сканирование по линии и в точке, коррекция наклона образца, 3D пучок |
| Размер изображения |
До 8192x8192 точек, 65 536 градаций серого, 3 размера изображения в реальном времени, 10 для записи в файл, соотношение сторон изображения 1:1, 2:1 или 4:3 |
| Управление микроскопом |
Графический интерфейс VegaTC на персональном компьютере под управлением WindowsT, с использованием клавиатуры, мыши и трекбола. Контрольная панель и сенсорный монитор поставляются дополнительно |
| Автоматические процедуры |
Контроль вакуума, накал катода, юстировка пушки, центрирование пушки и апертуры в различных режимах сканирования, подстройка для разных диапазонов ускоряющего напряжения, оптимизация тока/размера пучка, скорости сканирования, яркости и контрастности, фокусировки, стигматоров |
| Удаленный контроль |
По протоколу TCP/IP |
| Источник бесперебойного питания |
ИБП мощностью 2 кВт входит в комплект стандартной поставки |
|
