|
VEGA 3 XM - электронный микроскоп серии Vega с вольфрамовым катодом. Обладая большой камерой и моторизованным столиком, микроскоп является одним из самых профессиональных решений для применения как в промышленности, так и в исследовательской деятельности.
Особенности моделей c XM камерой
-
Максимально большая камера позволяет исследовать образцы размером до 280 мм
-
5-осевой полностью моторизованный столик с большим диапазоном перемещений и коррекцией смещения при наклоне
-
Быстрое и точное передвижение с возможностью возврата к сохраненным позициям
-
Надежный столик способен выдерживать образцы суммарным весом до 8 кг
-
9+ интерфейсных портов для установки разнообразных детекторов и дополнительных принадлежностей, таких как EDX, WDX, EBSD и т.п.
-
Пневматическая или активная электромагнитная (опционально) подвеска эффективно снижает влияние внешних вибраций
Варианты исполнения:
VEGA 3 XMH
Модель микроскопа для работы в режиме высокого вакуума, подходящая для широкого диапазона технических применений при исследовании токопроводящих образцов.
VEGA 3 XMU
Cохраняющая преимущества модели с высоким вакуумом, модель микроскопа для работы с переменным вакуумом, дополненная техническими возможностями для исследования непроводящих образцов в их естественном состоянии (без напыления).
Камера XM |
|
|
Столик образцов |
|
|
300 мм (ширина) х 330 мм (глубина) |
|
Тип |
Моторизованный, компуцентрический |
| |
280 мм (ширина) х 310 мм (высота) |
|
Перемещения |
X = 130 мм, Y = 130 мм, Z = 100 мм
Вращение 360° непрерывно
Наклон от -20° до +90° |
|
9+ |
|
|
пневматическая или активная
электромагнитная (опционально) |
|
Высота образца |
не более 143 мм |
| VEGA 3 |
XMH |
XMU |
Разрешение
высокого вакуума (SE)
переменного вакуума (BSE) |
3,0 нм при 30 кВ
- |
3,0 нм при 30 кВ
3,5 нм при 30 кВ |
Рабочий вакуум
режим высокого вакуума
режим среднего вакуума
режим низкого вакуума |
< 1 x 10-2 Па
-
- |
< 1 x 10-2 Па
3 - 150 Па
3 - 500 Па (до 2000 Па - опционально) |
| Рабочие режимы |
Разрешение, Глубина, Поле, Широкое Поле, Каналирование |
Высокий вакуум
Разрешение, Глубина, Поле, Широкое Поле, Каналирование |
Средний вакуум
Разрешение, Глубина, Поле, Широкое Поле, Каналирование |
Низкий вакуум
Разрешение, Глубина |
| Увеличение |
Непрерывное от 3х до 1000 000х |
10x - 1000 000x |
| Ускоряющее напряжение |
От 200 В до 30 кВ |
| Источник электронов |
Вольфрамовый катод с термоэлектронной эмиссией |
| Ток пучка электронов |
От 1 пА до 2 мкА |
| Скорость сканирования |
От 20 нс до 10 мс на пиксель, регулируется ступенчато или непрерывно |
| Окно фокусировки |
Форма, размер и положение плавно регулируются |
| Особенности сканирования |
Динамический фокус, сканирование по линии и в точке, коррекция наклона образца, 3D пучок |
| Размер изображения |
До 8192x8192 точек, 65 536 градаций серого, 3 размера изображения в реальном времени, 10 для записи в файл, соотношение сторон изображения 1:1, 2:1 или 4:3 |
| Управление микроскопом |
Графический интерфейс VegaTC на персональном компьютере под управлением WindowsT, с использованием клавиатуры, мыши и трекбола. Контрольная панель и сенсорный монитор поставляются дополнительно |
| Автоматические процедуры |
Контроль вакуума, накал катода, юстировка пушки, центрирование пушки и апертуры в различных режимах сканирования, подстройка для разных диапазонов ускоряющего напряжения, оптимизация тока/размера пучка, скорости сканирования, яркости и контрастности, фокусировки, стигматоров |
| Удаленный контроль |
По протоколу TCP/IP |
|
 |
|
